Моделирование кремниевых микромеханических резонаторов в COMSOL Multiphysics®

Различные типы кремниевых микромеханических резонаторов активно используются в современных МЭМС-генераторах и системах коммутации, а также в измерительной технике и датчиках физических величин типа акселерометров и гироскопов. Высокоточное моделирование позволяет значительно повысить эффективность их разработки и подразумевает учет различных междисциплинарных эффектов. COMSOL Multiphysics® за счет модуля MEMS позволяет проводить полный спектр вибрационных расчетов таких систем для получения данных о резонансных частотах, добротности и частотных характеристиках с учетом механического гистерезисного и термоупругого демпфирования, анкерных потерь, виброакустического влияния окружающего газа. Кроме того, инструменты пакета дадут возможность оценить термические эффекты и другие преднапряжения, явно смоделировать механизм электростатического возбуждения резонаторов и т.п. В данном видеоуроке проведен обзор указанных возможностей и инструментов, рассмотрена сборка тестовой модели и систематизирована ин