Российские ученые создали комплекс для выпуска микроэлектронных наноструктур

Ученые научного центра мирового уровня “Передовые цифровые технологии“ Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали импортозамещающий технологический комплекс, на котором можно создавать наноструктуры, необходимые для работы различного микроэлектронного оборудования, сообщили РИА Новости в министерстве науки и высшего образования РФ. Комплекс состоит из двух частей. Первая – промышленный образец установки безмасочной нанолитографии. Второй элемент комплекса – промышленный образец установки плазмохимического травления кремния. Разработка комплекса поможет решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники, отметили в ведомстве. Первым этапом для создания наноструктур является процесс литографии (получение изображения на подложке), который обычно ведут на зарубежном оборудовании. Но этот процесс требует много времени и больших финансовых затрат. Потому петербургские ученые применили альтернативный способ. Они предложили использовать технологию безмасочной нанолитографии – аналогичное получение изображения на подложке без использования шаблона (маски). По оценкам ученых, такая отечественная установка будет стоить примерно 5 миллионов рублей в отличие от 10-13 миллиардов рублей за иностранную. Также для работы прибора ученые разработали специальное программное обеспечение. Устройство полностью автоматизировано. Сейчас софт дополняют системой обратной связи, чтобы снизить человеческий фактор при эксплуатации. Вторым этапом для создания наноструктур является процесс так называемого плазмохимического травления по созданному на первом шаге рисунку. Кроме формирования наноструктур, на этой установке можно создавать кремниевые мембраны, которые будут использоваться в судовых датчиках избыточного давления. “Применение безмасочной нанолитографии в совокупности с плазмохимическим травлением возможно для решения широкого спектра задач. Например, в радиолокационном оборудовании возможно увеличение срока службы приборов более чем в 20 раз. А применение технологии при производстве солнечных панелей позволяет уменьшить их вес и габариты, дает возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД“, – отметил Осипов. В планах специалистов СПбПУ – внедрить машинное обучение на обе установки, а также продолжить создание технологий и для силовой электроники.