Технологические процессы, используемые для создания объектов наноэлектроники. Лекция 2.6

Технологические процессы, используемые для создания объектов наноэлектроники. Лекция 2.6, Курс: Наноэлектроника, Лектор: Михаил Путря, Организаторы: Электронное образование для наноиндустрии (eNANO) Смотрите это видео на Лекториуме: Термин «наноэлектроника» связан с термином «микроэлектроника» и отражает переход современной полупроводниковой электроники от элементов с характерным размером в субмикронной области к наноразмерным. В работе элементов таких размеров начинают